Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 400

Пьезоэлектрическая система TRITOR 400 была разработана для больших перемещений (до 400 мкм) вдоль трех осей X, Y, Z. Пьезоподвижка может быть изготовлена в исполнении совместимом с вакуумом и низкими температурами. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 400.

 Модель  TRITOR
 400 
 TRITOR
 400 SG
 TRITOR
 400 CAP
 Оси  X, Y, Z  X, Y, Z  X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 400  400  400
 Максимальное перемещение
 (+/-0.2%), мкм (closed-loop)**
 -  320  320
 Электрическая емкость на ось
 x/y/z (+/-20%), мкФ
 14/14/14  14/14/14  6/6/14
 Встроенные датчики  -  SG***  CAP****
 Точность (open-loop), нм  0.8  0.8  0.8
 Точность (closed-loop), нм  -  35  1
 Повторяемость позиции, нм  -  10/8/9  13/10/10
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 0 г), Гц
 180/280/140  180/280/140  180/280/140
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 20 г), Гц
 178/236/193  178/236/193  178/236/193
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 50 г), Гц
 162/218/167  162/218/167  162/218/167
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 100 г), Гц
 143/153/142  143/153/142  143/153/142
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 300 г), Гц
 105/115/135  105/115/135  105/115/135
 Жесткость x/y/z, Н/мкм  0.3/0.3/0.25  0.3/0.3/0.25  0.3/0.3/0.25
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 116*106*40  116.5*106.5*40  116*106*40
 Вес, г  1050  1050  1100

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.
Сопутствующее оборудование
photo
Пятиосевая нанопьезоподвижка PENTOR
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Пятиосевая нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и углом наклона ±2 мрад.
photo
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены для управления трехосевыми пьезоподвижками.
photo
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 320
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая нанопьезоподвижка с центральным сквозным квадратным отверстием 150 мм, максимальной величиной перемещения 320 мкм и возможностью дооснащения емкостными датчиками.