Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 101

TRITOR 101 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (68 мм*68 мм*30 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 100 мкм. Отличительной особенностью данной подвижки является наличие центрального сквозного отверстия диаметром 30 мм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 101.

 Модель   TRITOR
 101 
 TRITOR
 101 SG 
 TRITOR
 101 CAP
 Оси  X, Y, Z  X, Y, Z  X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 100  100  100
 Максимальное перемещение,
 мкм (closed-loop)**
 -  80  80
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 1.7  1.7  1.7
 Встроенные датчики  -  SG***  CAP****
 Точность, нм  0.2  2  1
 Повторяемость позиции, нм  -  +/-18  +/-11
 Резонансная частота x/y/z, Гц  420/410/360  420/410/360  420/410/360
 Жесткость x/y/z, Н/мкм  1/1/1  1/1/1  1/1/1
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 68*68*30  68*68*30  80.5*80.5*30
 Диаметр центрального
 сквозного отверстия, мм
 30  30  30
 Вес, г  480  570  650

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.

**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование
photo
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены для управления трехосевыми пьезоподвижками.
photo
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 100
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и возможностью дооснащения как тензометрическими, так и емкостными датчиками.
photo
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 102
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая нанопьезоподвижка с центральным сквозным отверстием 40 мм, максимальной величиной перемещения 100 мкм и возможностью дооснащения как тензометрическими, так и емкостными датчиками.